ELA系列超精密直線伺服氣浮平臺
由一派數控與德國AeroLas聯合開發的ELA系列超精密平臺，是以直線電機為驅動，微孔氣浮導軌為支撐，控制精度在0.5～0.1微米的多軸運動平臺，是高端電子、光學、芯片等工業領域精密加工和精密檢測的首選伺服裝置。其顯著特點是：
●所有運動部件均無接觸摩擦，無過定位；
●所有運動軸系布置在一個平面上，最大限度地提高平臺結構的穩定性和工件移動時的平面度。
ELA系列主要技術參數：
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技術指標描述 |
X/Y行程 |
X/Y速度 |
X/Y軸加速度 |
X/Y軸絕對定位精度 |
X/Y軸重復定位精度 |
單軸直線度 |
C軸轉角 |
C軸轉角絕對定位精度 |
C軸轉角重復定位精度 |
工作平面的平面度 |
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技術參數 |
300X300mm |
0.05~1m/s |
2g |
0.4um?? (有補償) |
0.2um |
±1um?? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.5um |
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各單項可實現的最高指標 |
4000X2500mm |
4m/s |
5g |
0.25um(與測量控制系統有關) |
0.02um（與測量控制系統有關） |
±0.5um? (有效行程) |
360° |
±1.5角秒 |
±1角秒 |
0.3um |